在真空镀膜机的安装调试阶段，检漏工作是至关重要的环节。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。这包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点可疑部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。为了确保检漏工作的有效性和可靠性，大型、复杂真空设备最好采用分段检漏的方式，每装上一个部件，就对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。这样的操作方式能够有效减少怀疑部位和漏气点的数量，避免多个漏孔同时漏气给总体检漏带来的困难。

在真空设备安装调试过程中，检漏步骤主要包括以下内容：

1. 了解设备结构和装配过程： 在进行检漏工作前，需要了解待检设备的结构组成和装配过程，掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点可疑部位。

2. 准备检漏方法和设备： 根据检漏要求和具体情况，选择合适的检漏方法和设备，并准备好检漏时所需的辅助设备，制定切实可行的检漏程序。

3. 清洁处理被检件： 对被检件进行彻底的清洁处理，去除焊渣、油垢等杂质，并确保被检件在真空卫生条件下进行清洁处理，以保证检漏的准确性。

4. 校准检漏设备： 对所选用的检漏方法和检漏设备进行检漏灵敏度的校准，并确定检漏系统的检漏时间，保证检测结果的准确性和可靠性。

5. 进行检漏工作： 根据检漏方法和程序，对设备进行检漏工作，包括检查连接部位的密封性、法兰连接和动密封件等重点可疑部位。

6. 修补漏孔： 若发现漏孔或密封不严的部位，及时进行修补，确保设备的气密性和稳定性。

7. 复查检漏结果： 对检出并修补的漏孔进行一次复查，以确保检漏结果达到要求，保证设备的正常运行和镀膜质量。

通过以上检漏步骤的实施，能够有效地保障真空镀膜设备的安装质量和镀膜过程的稳定性，确保设备正常运行并达到设计要求。因此，检漏环节在整个真空设备生产和使用过程中都是不可或缺的重要步骤。