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真空镀膜设备工艺如何清洗1. 真空腔体内表面清洗：将真空腔体内表面的氧化层、尘土以及减少不相关物质等彻底地去除。使用化学方法清除腔体内表面上的氧化层及金属细小微粒，如使用酸洗液像HCl、HF等。 2. 真空负压管路清洗：在使用过程中，镀膜设备内部会经常挂起很多异物，这些异物会附着在管道内，会影响内部压力和真空度的稳定性，工艺的变化和清洗，如：用汽油表面，使用清洗剂和压缩空气将管路清洗干净。 3. 真空泵清洗：真空泵对于工艺的稳定非常重要，由于泵的操作方式和使用的润滑油不同，清洗方式也会相应变化。可以使用清洗剂和压缩空气将管路清洗干净。需要在不听时期，翻开泵底将零件取出进行清洗、更换。 4. 手动操作空间、手动仓清洗：手动仓需要依据所用材料以及清洗方式变化。如果使用的是金属，可以选择研磨，如果使用的是陶瓷，使用多一点电离水清洗即可。手动仓一般和气体分配阀、磁控件等一起清洗。 5. 真空房清洗：真空房的清洗主要是为了保证空气与真空工艺的隔离。清洗方式是提供新鲜的空气，从房间外面进入真空房，通过空气过滤器清洁空气进入真空房内部，形成负压，达到净化真空房的目的。 |
