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一. 設備配置1) KT-500擴散泵一台2) ZLD-300羅茨泵一台3) 2X-70機械泵一台4) 2X-15維持泵一台5) ∮1000×1000真空室一套6) 工件轉動采用變頻調速裝置7) 采用PLC集中控制(自動控制)8) 電腦自動換檔真空計9) 三路流量控制器10) 一套逆變偏壓和8個逆變弧電源,∮60和∮100兩種弧源通用(弧源數量可增減)11) 邊裝式加熱管四支12) 電腦PID自動控溫
二.特點:設備和擴散泵泵壁采用不鏽鋼結構,持久耐用,廣泛適用于鍍制氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化鉻、及钛、鎳、鉻、銅、等單一膜層和複合膜層。是各種五金、工具、手表、潔具等行業表面裝飾非常需要的多功能設備。