一． 設備配置
1） KT-400擴散泵一台
2） 2X-70機械泵一台
3） 2X-15維持泵一台
4） ∮800×1000真空室一套
5） 工件轉動采用變頻調速裝置
6） 采用西門子PLC集中控制
7） 電腦自動換檔真空計
8） 三路流量控制器
9） 一套逆變偏壓和4個逆變弧電源，∮60和∮100兩種弧源通用
10） 帶有弧源降溫系統不但可以降低弧源蒸發過程中生成的熱量，而且可以過濾部分大顆粒的液滴，使鍍膜質量進一步提高。
11） 邊裝式加熱管四支，電腦PID自動控溫

二．特點
設備和擴散泵泵壁采用不鏽鋼結構，持久耐用，操作簡單，非常適用于鍍制鋁合金制品，可以鍍制氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化鉻、及钛、鎳、鉻、銅、等等。