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一. 設備配置1)KT-400擴散泵一台2)2X-30機械泵一台3)2X-15維持泵一台4)∮800×800真空室一套5)工件轉動采用變頻調速裝置6)采用先進的西門子PLC集中控制7)電腦自動換檔真空計8)三路流量控制器9)一套逆變偏壓和三路逆變弧電源,∮60和∮100兩種弧源通用10)電腦PID自動控溫11)邊裝式加熱管四支1) 三路弧源過濾系統,弧源過濾系統不但可以過濾掉大的液滴2) 用于鍍制金剛石等各種硬度裝飾膜和各種異型顔色裝飾膜
二.特點該機是龍口市比特真空技術有限公司和北京師範大學共同研制的最新産品,采用逆變偏壓、弧源過濾系統消除了弧源液滴現象,自動化控制充分體現了設備易操作性。