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DCLC-800B
DCLC-800B
一. 设备配置
1) KT-400扩散泵一台
2) 2X-70机械泵一台
3) 2X-15维持泵一台
4) ∮800×1000真空室一套
5) 工件转动采用变频调速装置
6) 采用西门子PLC集中控制
7) 电脑自动换档真空计
8) 三路流量控制器
9) 一套逆变偏压和4个逆变弧电源,∮60和∮100两种弧源通用
10) 带有弧源降温系统不但可以降低弧源蒸发过程中生成的热量,而且可以过滤部分大颗粒的液滴,使镀膜质量进一步提高。
11) 边装式加热管四支,电脑PID自动控温
二.特点
设备和扩散泵泵壁采用不锈钢结构,持久耐用,操作简单,非常适用于镀制铝合金制品,可以镀制氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬、及钛、镍、铬、铜、等等。
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